Title |
XPS- und TOF-SIMS-Untersuchungen der Stöchiometrie und des Oxidwachstums von HF-behandelten GaAs(100)-Oberflächen |
|---|---|
Involved |
Wolfgang Storm (Verfasser) |
Published |
1993 |
Extent |
85 Bl. : graph. Darst. |
Thesis |
Münster (Westfalen), Univ., Diss., 1993 (Nur beschränkt für den Austausch) |
Language |
|
Topic |
|
Subject |
Galliumarsenid, Wafer, Oberflächenbehandlung, Flusssäure |
Record ID |
931850754 |
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