Title |
Matrixmethoden zur numerischen Berechnung von Kapazitätskoeffizienten in integrierten Schaltungen unter Berücksichtigung beliebig geschichteter dielektrischer Medien |
|---|---|
Involved |
Frank Verwiebe (Verfasser) |
Published |
1993 |
Extent |
IX, 113 S. : Ill., graph. Darst. |
Thesis |
Ilmenau, Techn. Univ., Diss., 1993 |
Topic |
|
Subject |
Integrierte Schaltung, Dielektrisches Schichtsystem, Kapazitätsmessung, Matrixverfahren |
Record ID |
931877415 |
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