Title |
Ätzratenverhalten von Kieselglasschichten in Flusssäurelösungen / vorgelegt von Harald Proksche |
|---|---|
Involved |
Harald Proksche (Verfasser) |
Published |
1993 |
Extent |
II, 148 S. : Ill., graph. Darst. |
Thesis |
München, Univ., Diss., 1993 |
Topic |
|
Subject |
Quarzglas, Dünne Schicht, Nassätzen, Flusssäure, Reaktionskinetik |
Record ID |
940048906 |
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