Title |
Oberflächenqualität und Randzonenbeeinflussung beim Planschleifen einkristalliner Siliciumscheiben / Bernhard Frank Holz |
|---|---|
Involved |
Bernhard Frank Holz (Verfasser) |
Published |
München, Wien: Hanser |
Extent |
III, 184 S. : graph. Darst. |
Thesis |
Zugl.: Berlin, Techn. Univ., Diss., 1994 |
ISBN |
978-3-446-17801-4 |
Topic |
Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau |
Subject |
Wafer, Silicium, Flachschleifen, Oberflächenschaden, Mikrostruktur, Randschicht |
Series |
|
Record ID |
940295679 |
Please note
The beta version does not yet contain all functions and information of the DNB portal catalogue. If you are missing information or want to order a medium, please visit the page in the DNB portal catalogue via the following link: