Title |
Entwicklung eines subtraktiven Strukturierungsverfahrens zur Herstellung von Röntgenzwischenmasken für das LIGA-Verfahren / Kernforschungszentrum Karlsruhe, Institut für Mikrostrukturtechnik ; Kernforschungszentrum Karlsruhe GmbH, Karlsruhe. K. Kadel ... |
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Involved |
Klaus Kadel (Mitwirkender) |
Published |
Karlsruhe: Kernforschungszentrum |
Edition |
Als Ms. gedr. |
Extent |
94 S. : Ill., graph. Darst. |
Thesis |
Zugl.: Karlsruhe, Univ., Diss. K. Kadel, 1993 |
Topic |
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Record ID |
940518694 |
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