Title |
Ortsaufgelöste Untersuchungen von Schichteigenschaften bei ionenstrahlgestützten Abscheideverfahren mittels teilcheninduzierter Röntgenemission / vorgelegt von Christopher Klatt |
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Involved |
Christopher Klatt (Verfasser) |
Published |
1994 |
Edition |
[Mikrofiche-Ausg.] |
Extent |
84 Bl. : Ill., graph. Darst. |
Thesis |
Heidelberg, Univ., Diss., 1994 |
Topic |
|
Subject |
Metall, Dünne Schicht, Aufdampfen, Ionenstrahl, PIXE, Raumauflösung |
Further information |
Mikrofiche-Ausg.: 1 Mikrofiche : 24x |
Record ID |
941182207 |
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