Title |
Lokalisierung elektrochemischer Reaktionen an mikro- und nanostrukturiertem Silizium / Markus Kirchhoff |
|---|---|
Involved |
Markus Kirchhoff (Verfasser) |
Published |
Aachen: Shaker |
Edition |
Als Ms. gedr. |
Extent |
I, 94 S. : Ill., graph. Darst. |
Thesis |
Zugl.: Düsseldorf, Univ., Diss., 1995 |
ISBN |
978-3-8265-0878-3 |
Topic |
|
Subject |
Silicium, Poröser Stoff, Anodische Oxidation (Oberflächenbehandlung), Oberflächenreaktion, Laserinduziertes Verfahren, Nanometerbereich |
Series |
Berichte aus der Halbleitertechnik |
Record ID |
945172257 |
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