Title |
Zur Charakterisierung von Halbleiterstrukturen und Strukturierung von Halbleiteroberflächen mit Rastersondenmikroskopen / vorgelegt von Thomas Teuschler |
|---|---|
Involved |
Thomas Teuschler (Verfasser) |
Published |
1996 |
Extent |
149 S. : Ill., graph. Darst. |
Thesis |
Erlangen, Nürnberg, Univ., Diss., 1996 |
Topic |
|
Subject |
Silicium, Amorpher Halbleiter, Wasserstoff, Überstruktur, Rastersondenmikroskopie |
Record ID |
947304568 |
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