Title |
Charakterisierung der elektroneninduzierten Wolframabscheidung für Anwendungen in der Mikrosystemtechnik / vorgelegt von Klaus Kohlmann- von Platen |
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Involved |
Klaus Kohlmann-von Platen (Verfasser) |
Published |
1996 |
Edition |
[Mikrofiche-Ausg.] |
Extent |
127 Bl. : Ill., graph. Darst. |
Thesis |
Berlin, Techn. Univ., Diss., 1996 |
Topic |
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Subject |
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Further information |
Mikrofiche-Ausg.: 2 Mikrofiches : 24x |
Record ID |
947904409 |
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