Title |
MBE-Wachstum, Struktur und elektrische Transporteigenschaften epitaktischer Si/CoSi2/Si(100)-Heterostrukturen / Carsten Schäffer |
|---|---|
Involved |
Carsten Schäffer (Verfasser) |
Published |
Aachen: Shaker |
Edition |
Als Ms. gedr. |
Extent |
VII, 134 S. : Ill., graph. Darst. |
Thesis |
Zugl.: Hannover, Univ., Diss., 1996 |
ISBN |
978-3-8265-1930-7 |
Topic |
|
Subject |
Cobaltdisilicid, Silicium, Heterostruktur, Molekularstrahlepitaxie, Schichtwachstum, Elektronischer Transport |
Series |
Berichte aus der Halbleitertechnik |
Record ID |
948890495 |
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