Title |
Abscheidung Phosphor-dotierter SiO2-Schichten zur Passivierung von optoelektronisch-integrierten Empfängern / Rolf Riemenschneider |
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Involved |
Rolf Riemenschneider (Verfasser) |
Published |
Düsseldorf: VDI-Verl. |
Edition |
Als Ms. gedr. |
Extent |
VII, 185 S. : graph. Darst. |
Thesis |
Zugl.: Darmstadt, Techn. Hochsch., Diss., 1995 |
ISBN |
978-3-18-324109-5 |
Topic |
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Subject |
Optoelektronisches Bauelement, Integrierte Optoelektronik, Drei-Fünf-Halbleiter, Halbleitersubstrat, Siliciumdioxid, CVD-Verfahren |
Series |
Fortschrittberichte VDI. Reihe 9, Elektronik, Mikro- und Nanotechnik ; Nr. 241 |
Record ID |
949426482 |
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