Title |
Oberflächenanalytische Charakterisierung von metallischen Verunreinigungen und Oxiden auf GaAs / vorgelegt von Frank Schroeder-Oeynhausen |
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Involved |
Frank Schröder-Oeynhausen (Verfasser) |
Published |
1996 |
Extent |
129 S. : Ill., graph. Darst. |
Thesis |
Münster (Westfalen), Univ., Diss., 1997 (Nicht für den Austausch) |
Language |
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Topic |
|
Subject |
Galliumarsenid, Wafer, Metall, Passivschicht, Oberflächenanalyse |
Record ID |
949926418 |
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