Title |
Struktur und Zusammensetzung von PVD-Schichten im System Cu-O-N / Ralph Domnick |
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Involved |
Ralph Domnick (Verfasser) |
Published |
Aachen: Mainz |
Extent |
VI, 86 S. : Ill., graph. Darst. |
Thesis |
Zugl.: Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 1997 |
ISBN |
978-3-89653-154-4 |
Topic |
|
Subject |
PVD-Verfahren, Kupferverbindungen, Sauerstoffverbindungen, Stickstoffverbindungen, Dünne Schicht, Elektronenstrahlmikroanalyse |
Record ID |
950476862 |
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