Title |
Metallurgische Eigenschaften und Elektromigration in ALCUx-Legierungen für höchstintegrierte Schaltkreise / Stefan Dietrich |
|---|---|
Involved |
Stefan Dietrich (Verfasser) |
Published |
Augsburg: Wißner |
Extent |
88, X S. : graph. Darst. |
Thesis |
Zugl.: Augsburg, Univ., Diss., 1996 |
ISBN |
978-3-89639-068-4 |
Topic |
|
Subject |
VLSI, Metallisieren, Aluminiumlegierung, Kupferlegierung, Elektromigration, Degradation (Technik) |
Series |
Augsburger mathematisch-naturwissenschaftliche Schriften : AMNS ; 17 |
Record ID |
950501670 |
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