Title |
Herstellung und Charakterisierung von Carbonitridschichten / Josef Hartmann |
|---|---|
Involved |
Josef Hartmann (Verfasser) |
Published |
Düsseldorf: VDI-Verl. |
Edition |
Als Ms. gedr. |
Extent |
VII, 101 S. : graph. Darst. |
ISBN |
978-3-18-347805-7 |
Topic |
Technische Chemie |
Subject |
Carbonitride, Dünne Schicht, PECVD-Verfahren |
Series |
Fortschrittberichte VDI. Reihe 5, Grund- und Werkstoffe, Kunststoffe ; Nr. 478 |
Further information |
Literaturverz. S. 89 - 97 |
Record ID |
950664502 |
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