Title |
Platin-Defekte in Silizium und ihr Zusammenwirken mit Eigendefekten und Dotanden im Temperaturbereich des Bauelementeherstellungsprozesses / von Uta Juda |
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Involved |
Uta Juda (Verfasser) |
Published |
1997 |
Extent |
82 S. : graph. Darst. |
Thesis |
Freiberg (Sachsen), Techn. Univ., Diss., 1997 |
Language |
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Topic |
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Subject |
Siliciumhalbleiter, Platin, Dotierung, Dotant, Gitterbaufehler, Elektronenspinresonanzspektroskopie |
Record ID |
951059092 |
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