Title |
Oberflächenanalytische Charakterisierung von metallischen Verunreinigungen und Oxiden auf GaAs / Frank Schröder-Oeynhausen |
|---|---|
Involved |
Frank Schröder-Oeynhausen (Verfasser) |
Published |
Wiesbaden: Dt. Univ.-Verl. |
Extent |
138 S. : graph. Darst. |
Thesis |
Zugl.: Münster (Westfalen), Univ., Diss., 1996 |
ISBN |
978-3-8244-2091-9 |
Topic |
|
Subject |
Galliumarsenid, Wafer, Metall, Passivschicht, Oberflächenanalyse |
Series |
DUV : Naturwissenschaft |
Other editions |
Erscheint auch als Online-Ausgabe: Oberflächenanalytische Charakterisierung von metallischen Verunreinigungen und Oxiden auf GaAs |
Record ID |
951106201 |
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