Title |
Entwicklung von atom- und massenspektrometischen Verfahren zur direkten Bestimmung von Spurenverunreinigungen in hochreinem Siliciumdioxid / vorgelegt von Susanne Hauptkorn |
|---|---|
Involved |
Susanne Hauptkorn (Verfasser) |
Published |
1997 |
Extent |
171 S. : Ill., graph. Darst. |
Thesis |
Ulm, Univ., Diss., 1997 |
Topic |
|
Subject |
Siliciumdioxid, Reinststoff, ICP-Atomemissionsspektroskopie, ICP-Massenspektrometrie |
Record ID |
951577042 |
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