Title |
Diffraktive Kondensoroptiken für die hochauflösende Röntgenmikroskopie : Elektronenstrahllithographie und Nanostrukturierung / vorgelegt von Thorsten Schliebe |
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Involved |
Thorsten Schliebe (Verfasser) |
Published |
Göttingen: Cuvillier |
Edition |
1. Aufl. |
Extent |
II, 112 S. : Ill., graph. Darst. |
Thesis |
Zugl.: Göttingen, Univ., Diss., 1997 |
ISBN |
978-3-89588-988-2 |
Topic |
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Subject |
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Record ID |
952133172 |
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