Title |
Herstellung und elektronische Eigenschaften hydrogenierter amorpher Siliziumfilme, abgeschieden unter extremen Depositionsbedingungen / vorgelegt von Stephan Will |
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Involved |
Stephan Will (Verfasser) |
Published |
1997 |
Extent |
104 S. : graph. Darst. |
Thesis |
Marburg, Univ., Diss., 1997 |
Language |
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Topic |
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Subject |
Silicium, Amorpher Halbleiter, Wasserstoff, Dünne Schicht, PECVD-Verfahren |
DDC notation |
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Other editions |
Erscheint auch als Online-Ausgabe: Herstellung und elektronische Eigenschaften hydrogenierter amorpher Siliziumfilme, abgeschieden unter extremen Depositionsbedingungen |
Record ID |
952784351 |
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