Title |
Aufbringung von Siliziumoxidschichten durch Plasma-CVD und Anwendung auf Beschichtungen in einer Plasma-Wirbelschicht / Christian Bayer |
|---|---|
Involved |
Christian Bayer (Verfasser) |
Published |
Düsseldorf: VDI-Verl. |
Edition |
Als Ms. gedr. |
Extent |
XIV, 146 S. : Ill., graph. Darst. |
Thesis |
Zugl.: Zürich, Eidgenössische Techn. Hochsch., Diss., 1998 |
ISBN |
978-3-18-353403-6 |
Topic |
Technische Chemie |
Subject |
Hexamethyldisiloxan, PECVD-Verfahren, Mikrowellenplasma, Wirbelschichtverfahren, Siliciumdioxid, Dünne Schicht |
Series |
Fortschrittberichte VDI. Reihe 3, Verfahrenstechnik ; Nr. 534 |
Record ID |
953568679 |
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