Title |
Untersuchungen von Ätz- und Abscheideprozessen im fokussierten Ionenstrahl / Stefan Lipp |
|---|---|
Involved |
Stefan Lipp (Verfasser) |
Published |
Aachen: Shaker |
Edition |
Als Ms. gedr. |
Extent |
111 S. : Ill., graph. Darst. |
Thesis |
Zugl.: Erlangen, Nürnberg, Univ., Diss., 1997 |
ISBN |
978-3-8265-3991-6 |
Topic |
|
Subject |
Ionenstrahlätzen |
Series |
Erlanger Berichte Mikroelektronik ; Bd. 98,1 |
Record ID |
954099001 |
Please note
The beta version does not yet contain all functions and information of the DNB portal catalogue. If you are missing information or want to order a medium, please visit the page in the DNB portal catalogue via the following link: