Title |
Möglichkeiten und Grenzen der Silizium-Planartechnologie zur Herstellung mikromechanischer Sensoren und deren Verkapselung / Lüder Elbrecht |
|---|---|
Involved |
Lüder Elbrecht (Verfasser) |
Published |
Aachen: Shaker |
Edition |
Als Ms. gedr. |
Extent |
IV, 231 S. : Ill., graph. Darst. |
Thesis |
Zugl.: Bremen, Univ., Diss., 1998 |
ISBN |
978-3-8265-4303-6 |
Topic |
|
Subject |
Siliciumsensor, Mikromechanik, Silicium, Polykristall, CVD-Verfahren, Planartechnik |
Series |
Berichte aus der Mikromechanik |
Record ID |
954485491 |
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