Title |
Mikrostrukturierung von porösem Silicium für optische und optoelektronische Anwendungen / vorgelegt von Michael Krüger |
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Involved |
Michael Krüger (Verfasser) |
Published |
1998 |
Extent |
XII, 138 S. : Ill., graph. Darst. |
Thesis |
Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 1998 |
Language |
|
Topic |
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Subject |
Silicium, Poröser Stoff, Ionenstrahlätzen, Fotolithografie (Halbleitertechnologie) |
Record ID |
95471749X |
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