Title |
Ionengstützte Abscheidung und optische Charakterisierung von polykristallinen Dünnschichten am Beispiel von Bornitrid / vorgelegt von Eva Franke |
|---|---|
Involved |
Eva Franke (Verfasser) |
Published |
1998 |
Extent |
107 S. : Ill., graph. Darst. |
Thesis |
Leipzig, Univ., Diss., 1998 |
Language |
|
Topic |
Technische Chemie |
Subject |
Bornitrid, Sputtern, Dünne Schicht, Polykristall, Gefüge (Werkstoffkunde), Optische Eigenschaft |
Record ID |
955835550 |
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