Title |
Massenspektrometrische Untersuchungen komplexer Gemische poly- und perfluorierter Kohlenwasserstoffe : Abprodukte aus Silizium-Ätzprozessen in der Halbleiterindustrie / vorgelegt von Steffen Heinig |
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Involved |
Steffen Heinig (Verfasser) |
Published |
1998 |
Extent |
107, [10] Bl. : graph. Darst. |
Thesis |
Leipzig, Univ., Diss., 1998 |
Language |
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Topic |
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Subject |
Plasmaätzen, Fluorkohlenwasserstoffe, Polyfluorverbindungen, Perfluorverbindungen, Probenahme, GC-MS |
Record ID |
95584780X |
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