Title |
Plasmagestütztes Tiefenstrukturieren von Silizium am Beispiel einer piezogetriebenen Mikromembranpumpe / Andreas Feustel |
|---|---|
Involved |
Andreas Feustel (Verfasser) |
Published |
Aachen: Shaker |
Edition |
Als Ms. gedr. |
Extent |
III, 147 S. : Ill., graph. Darst. |
Thesis |
Zugl.: Hamburg-Harburg, Techn. Univ., Diss., 1999 |
ISBN |
978-3-8265-4933-5 |
Topic |
Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau |
Subject |
Mikropumpe, Membranpumpe, Ultraschallmotor, Mikroventil, Silicium, Plasmaätzen |
Series |
Berichte aus der Mikromechanik |
Record ID |
956153216 |
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