Title |
Elektrische Eigenschaften von MOCVD-Tantalpentoxid in Mehrschicht-Dielektrika / Harald Roth |
|---|---|
Involved |
Harald Roth (Verfasser) |
Published |
Aachen: Shaker |
Edition |
Als Ms. gedr. |
Extent |
III, 155 S. : Ill., graph. Darst. |
Thesis |
Zugl.: Erlangen, Nürnberg, Univ., Diss., 1999 |
ISBN |
978-3-8265-6133-7 |
Topic |
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Subject |
Tantalpentoxid, Siliciumdioxid, Mehrschichtsystem, MOCVD-Verfahren, Dielektrizitätszahl, Leckstrom |
Series |
Erlanger Berichte Mikroelektronik ; Bd. 99,2 |
Record ID |
956411231 |
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