Title |
Synthese und Spannungsanalyse von Bornitridschichten, hergestellt mittels ionengestützter Deposition / Michael Zeitler |
|---|---|
Involved |
Michael Zeitler (Verfasser) |
Published |
Düsseldorf: VDI-Verl. |
Edition |
Als Ms. gedr. |
Extent |
VII, 98 S. : Ill., graph. Darst. |
Thesis |
Zugl.: Augsburg, Univ., Diss., 1998 |
ISBN |
978-3-18-354005-1 |
Topic |
Technische Chemie |
Subject |
CBN (Werkstoff), Dünne Schicht, Elektronenstrahlverdampfen, Ionenstrahl, Spannungsanalyse |
Series |
Fortschrittberichte VDI. Reihe 5, Grund- und Werkstoffe, Kunststoffe ; Nr. 540 |
Record ID |
956569641 |
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