Title |
Untersuchung des laserunterstützten Naß- und Trockenätzens von Silizium zur Herstellung dreidimensionaler Mikrostrukturen / Axel Schumacher |
|---|---|
Involved |
Axel Schumacher (Verfasser) |
Published |
Aachen: Shaker |
Edition |
Als Ms. gedr. |
Extent |
145 S. : Ill., graph. Darst. |
Thesis |
Zugl.: Stuttgart, Univ., Diss., 1999 |
ISBN |
978-3-8265-6266-2 |
Topic |
Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau |
Subject |
Silicium, Nassätzen, Laserstrahlätzen, Neodym-YAG-Laser, Mikrosystemtechnik, Dreidimensionale Bearbeitung |
Series |
Berichte aus der Mikromechanik |
Record ID |
956879764 |
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