Title |
Herstellung von sub-μm-Si/SiGe-Heterostrukturfeldeffekttransistoren [sub-my-m-Si/SiGe-Heterostrukturfeldeffekttransistoren] (HFETs) und ersten Testschaltungen für Hochfrequenzanwendungen / von Markus Glück |
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Involved |
Markus Glück (Verfasser) |
Published |
Darmstadt: DDD, Dr. und Verl. |
Extent |
224 S. : Ill., graph. Darst. |
Thesis |
Zugl.: Ulm, Univ., Diss., 1998/1999 |
ISBN |
978-3-931713-57-7 |
Topic |
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Subject |
n-Kanal-FET, Heterostruktur-Bauelement, Silicium, Germanium, Halbleitertechnologie |
Series |
Technische Reihe ; Bd. 8 |
Record ID |
957322917 |
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