Title |
Nanolithographie mit dem Rasterkraftmikroskop / Bernd Klehn. Lehrstuhl für Mikrocharakterisierung, Friedrich-Alexander-Universität Erlangen-Nürnberg |
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Involved |
Bernd Klehn (Verfasser) |
Published |
Erlangen: Lehrstuhl für Mikrocharakterisierung |
Extent |
88 S. : Ill., graph. Darst. |
ISBN |
978-3-932392-18-4 |
Topic |
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Series |
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Further information |
Literaturverz. S. 77 - 81 |
Record ID |
957747144 |
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