Title |
Abscheidung metastabiler Ti1-xAlxN-Schichten nach dem plasmagestützten CVD-Verfahren / Robert Prange |
|---|---|
Involved |
Robert Prange (Verfasser) |
Published |
Düsseldorf: VDI-Verl. |
Edition |
Als Ms. gedr. |
Extent |
VI, 80 S. : Ill., graph. Darst. |
Thesis |
Zugl.: Aachen, Techn. Hochsch., Diss. |
ISBN |
978-3-18-357605-0 |
Topic |
Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau |
Subject |
Titannitrid, Aluminiumnitrid, Mischkristall, PECVD-Verfahren |
Series |
Fortschrittberichte VDI. Reihe 5, Grund- und Werkstoffe, Kunststoffe ; Nr. 576 |
Record ID |
95850847X |
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