Title |
Rotationsschleifen von Silizium-Wafern / Sabine Lehnicke |
|---|---|
Involved |
Sabine Lehnicke (Verfasser) |
Published |
Düsseldorf: VDI-Verl. |
Edition |
Als Ms. gedr. |
Extent |
XII, 137 S. : graph. Darst. |
Thesis |
Zugl.: Hannover, Univ., Diss., 1999 |
ISBN |
978-3-18-353402-9 |
Topic |
Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau |
Subject |
Wafer, Silicium, Einkristall, Rotationsschleifen, Prozessführung (Technik) |
Series |
Berichte aus dem Institut für Fertigungstechnik und Spanende Werkzeugmaschinen, Universität Hannover |
Record ID |
958724318 |
Please note
The beta version does not yet contain all functions and information of the DNB portal catalogue. If you are missing information or want to order a medium, please visit the page in the DNB portal catalogue via the following link: