Title |
Technologie zur Herstellung dreidimensionaler Siliziumstrukturen / Jens Hoche |
|---|---|
Involved |
Jens Hoche (Verfasser) |
Published |
Aachen: Shaker |
Extent |
XX, 142 S. : Ill., graph. Darst. |
Thesis |
Zugl.: Braunschweig, Techn. Univ., Diss., 2000 |
ISBN |
978-3-8265-7413-9 |
Topic |
Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau |
Subject |
Mikromechanik, Siliciumbauelement, Trockenätzen, Fotolithografie (Halbleitertechnologie), Prozessoptimierung |
Series |
|
Other editions |
Erscheint auch als Online-Ausgabe: Technologie zur Herstellung dreidimensionaler Siliziumstrukturen |
Record ID |
958970475 |
Please note
The beta version does not yet contain all functions and information of the DNB portal catalogue. If you are missing information or want to order a medium, please visit the page in the DNB portal catalogue via the following link: