Title |
Chemische Gasphasenabscheidung von Zirconiumdioxid, Yttriumoxid und Aluminiumoxid aus ß-Diketonaten [Beta-Diketonaten] und Alkoholaten / Michael Pulver |
|---|---|
Involved |
Michael Pulver (Verfasser) |
Published |
Clausthal-Zellerfeld: Papierflieger |
Edition |
1. Aufl. |
Extent |
228 S. : Ill., graph. Darst. |
Thesis |
Zugl.: Braunschweig, Techn. Univ., Diss., 1999 |
ISBN |
978-3-89720-400-3 |
Topic |
Technische Chemie |
Subject |
Diketonate (beta), Ausgangsmaterial, MOCVD-Verfahren, Zirkoniumoxidkeramik, Yttriumoxid, Aluminiumoxidkeramik |
Record ID |
959201882 |
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