Title |
Wachstum epitaktischer CoSi2-Schichten durch Reaktion metallischer Doppelschichten mit Si(100) / vorgelegt von Barbara Gebhardt |
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Involved |
Barbara Gebhardt (Verfasser) |
Published |
1999 |
Extent |
125 S. : Ill., graph. Darst. |
Thesis |
Chemnitz, Techn. Univ., Diss., 1999 |
Topic |
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Subject |
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Other editions |
Erscheint auch als Online-Ausgabe: Wachstum epitaktischer CoSi2-Schichten durch Reaktion metallischer Doppelschichten mit Si(100) |
Record ID |
959609547 |
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