Title |
Über die Deposition dicker spannungsarmer kubischer Bornitridschichten : eine Anwendung des Verspannungsabbaus durch mittelenergetische Ionenbestrahlung / Peter Widmayer |
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Involved |
Peter Widmayer (Verfasser) |
Published |
1999 |
Extent |
1 CD-R + Beil. ([2] Bl.) |
Thesis |
Ulm, Univ., Diss., 2000 |
Topic |
|
Subject |
CBN (Werkstoff), Beschichten, Ionenbestrahlung, CD-ROM |
Further information |
Titel auf der Beil. |
Record ID |
960154612 |
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