Title |
Untersuchungen zum diffusen katodischen Vakuumbogen bei der plasmaaktivierten Hochratebedampfung / von Bert M. Scheffel |
|---|---|
Involved |
Bert M. Scheffel (Verfasser) |
Published |
2000 |
Extent |
VIII, 123 S. : Ill., graph. Darst. |
Thesis |
Magdeburg, Univ., Diss., 2000 |
Topic |
|
Subject |
Elektronenstrahlverdampfen, Metalldampf, Titan, Vakuumlichtbogen, Bogenplasma, Plasmaerzeugung |
Record ID |
960285482 |
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