Title |
Elektrostatisch angetriebenes 3/2-Wege-Mikroventil für pneumatische Anwendungen / Stephan Messner |
|---|---|
Involved |
Stephan Messner (Verfasser) |
Published |
2000 |
Extent |
IV, 146 S. : Ill., graph. Darst. |
Thesis |
Freiburg (Breisgau), Univ., Diss., 2000 (Nicht für den Austausch) |
Topic |
Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau |
Subject |
Mikroventil, Mehrwegeventil, Pneumatisches Bauelement, Siliciumbauelement |
Other editions |
Erscheint auch als Online-Ausgabe: Elektrostatisch angetriebenes 3/2-Wege-Mikroventil für pneumatische Anwendungen |
Record ID |
960395377 |
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