Title |
Untersuchungen zu leerstellenartigen Kristalldefekten nach Ionenimplantation in Halbleitern / von Stefan Eichler |
|---|---|
Involved |
Stefan Eichler (Verfasser) |
Published |
1997 |
Thesis |
Halle (Saale), Univ., Diss., 1998 |
Topic |
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Subject |
Siliciumhalbleiter, Ionenimplantation, Gitterleerstelle, Online-Publikation |
Other editions |
Erscheint auch als Druck-Ausgabe: Untersuchungen zu leerstellenartigen Kristalldefekten nach Ionenimplantation in Halbleitern |
Persistent identifier |
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Record ID |
960418938 |
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