Title |
Ionen-Projektions-Lithographie für die industrielle Herstellung von integrierten Schaltungen mit Strukturgrössen kleiner 100nm / von Rainer Käsmaier |
|---|---|
Involved |
Rainer Käsmaier (Verfasser) |
Published |
2000 |
Extent |
1 CD-R + Beil. ([1] Bl.) |
Thesis |
Kassel, Univ., Diss., 2000 |
Topic |
|
Subject |
Ionenstrahllithografie, Belichtung, Projektion (Optik), Nanometerbereich, Diskette |
Further information |
Titel auf der Beil. - Dateiformate: PDF, Word 8.0 |
Record ID |
960483586 |
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