Title |
Ortsaufgelöste Funktionalisierung von Siliciumhydrid-Oberflächen mit photolithographischen Methoden / [vorgelegt von Jürgen Pipper] |
|---|---|
Involved |
Jürgen Pipper (Verfasser) |
Published |
2000 |
Extent |
II, 134 S. : Ill., graph. Darst. |
Thesis |
Heidelberg, Univ., Diss., 2000 |
Language |
|
Topic |
|
Subject |
Siliciumsensor, Hydrosilylierung, Funktionalisierung (Chemie), Biopolymere, Maskentechnik |
Record ID |
960615024 |
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