Title |
Defektcharakterisierung in Halbleiterschichten mit Hilfe der Positronenannihilation / von Frank Börner |
|---|---|
Involved |
Frank Börner (Verfasser) |
Published |
2000 |
Extent |
III, 101 S. : Ill., graph. Darst. |
Thesis |
Halle, Univ., Diss., 2000 |
Language |
|
Topic |
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Subject |
Galliumarsenid, Wafer, Positronen-Annihilations-Spektroskopie |
Other editions |
Erscheint auch als Online-Ausgabe: Defektcharakterisierung in Halbleiterschichten mit Hilfe der Positronenannihilation |
Record ID |
96066842X |
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