Title |
Entwicklung einer Planarisierungstechnologie einschließlich chemisch mechanischen Polierens zur Fertigung hochauflösender Flächenlichtmodulatoren / von Andreas Rieck |
|---|---|
Involved |
Andreas Rieck (Verfasser) |
Published |
2000 |
Thesis |
Duisburg, Univ., Diss., 2000 |
Topic |
|
Subject |
Matrixanzeige, Lichtmodulator, CMOS, Planartechnik, Chemisches Polieren, Online-Publikation |
Other editions |
Erscheint auch als Druck-Ausgabe: Entwicklung einer Planarisierungstechnologie einschließlich chemisch mechanischen Polierens zur Fertigung hochauflösender Flächenlichtmodulatoren |
Persistent identifier |
|
Record ID |
960830294 |
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