Title |
Laserkristallisation von Siliziumschichten auf Glas- und Kunststoffsubstraten für die Herstellung verbesserter Dünnschichttransistoren / von Gunter Mochmann |
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Involved |
Gunter Mochmann (Verfasser) |
Published |
München: Utz, Wiss. |
Extent |
167 S. : Ill., graph. Darst. |
Thesis |
Zugl.: Stuttgart, Univ., Diss., 2001 |
ISBN |
978-3-89675-811-8 |
Topic |
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Subject |
Dünnschichttransistor, Substrat (Mikroelektronik), Glas, Silicium, Kristallisation, Laserinduziertes Verfahren |
Series |
Laser in der Materialbearbeitung |
Record ID |
960973982 |
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