Title |
Plasmapolymerschichten aus fluorierten Verbindungen : Herstellung, Charakterisierung, Eignung als Inter Metall Dielektrika / Marcus Dietlmeier |
|---|---|
Involved |
Marcus Dietlmeier (Verfasser) |
Published |
München: Utz, Wiss. |
Extent |
IX, 124 S. : Ill., graph. Darst. |
Thesis |
Zugl.: München, Techn. Univ., Diss., 2001 |
ISBN |
978-3-89675-819-4 |
Topic |
|
Subject |
Fluororganische Verbindungen, Plasmapolymerisation, Dielektrische Schicht |
Series |
Chemie |
Record ID |
961261307 |
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