Title |
Herstellung von p-Kanal-Ge-MOSFETs auf Si-Substraten mittels Surfactant-modifizierter Epitaxie (SME) / Dirk Reinking |
|---|---|
Involved |
Dirk Reinking (Verfasser) |
Published |
Aachen: Shaker |
Extent |
V, 137 S. : Ill., graph. Darst. |
Thesis |
Zugl.: Hannover, Univ., Diss., 2000 |
ISBN |
978-3-8265-9293-5 |
Topic |
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Subject |
MOS-FET, p-Kanal-FET, Silicium, Germanium, Heteroepitaxie, Grenzflächenaktiver Stoff |
Series |
Berichte aus der Halbleitertechnik |
Other editions |
Erscheint auch als Online-Ausgabe: Herstellung von p-Kanal-Ge-MOSFETs auch Si-Substraten mittels Surfactant-modifizierter Epitaxie (SME) |
Record ID |
962227129 |
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