Title |
Auswirkungen einer Plasmabehandlung auf die Eigenschaften des Niedertemperatur-Waferbondens monokristalliner Siliziumoberflächen / von Marco Wiegand |
|---|---|
Involved |
Marco Wiegand (Verfasser) |
Published |
2001 |
Thesis |
Halle (Saale), Univ., Diss., 2001 |
Topic |
|
Subject |
Silicium, Kristallfläche, Oberflächenbehandlung, Plasmatechnik, Online-Publikation |
Other editions |
Erscheint auch als Druck-Ausgabe: Auswirkungen einer Plasmabehandlung auf die Eigenschaften des Niedertemperatur-Waferbondens monokristalliner Siliziumoberflächen |
Persistent identifier |
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Record ID |
963578588 |
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