Title |
Laserionisierung und Massenspektrometrie bei der Silicium-Dünnschichtabscheidung / von Ewa Witkowicz |
|---|---|
Involved |
Ewa Witkowicz (Verfasser) |
Published |
2001 |
Extent |
97 Bl. : Ill., graph. Darst. |
Thesis |
Jena, Univ., Diss., 2001 |
Language |
|
Topic |
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Subject |
Silicium, Dünne Schicht, Aufdampfen, Laserionisation, Flugzeitmassenspektrometrie |
Other editions |
Erscheint auch als Online-Ausgabe: Laserionisierung und Massenspektrometrie bei der Silicium-Dünnschichtabscheidung |
Record ID |
963678744 |
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